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高純水概述
添加時間:2017-08-02 錄入:青州三一 來源:青州三一
從學術(shù)角度講,高純水又叫超純水,是指化學程度極高的水,其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域,
但其對水質(zhì)要求相當高,所以一般應用最普遍的還是電子行業(yè)。例如電力系統(tǒng)所用的高純水,要求各雜質(zhì)含量低到“微克/升”
級。在純水的制作中,水質(zhì)標準所規(guī)定的各項指標應該根據(jù)電子元器件的生產(chǎn)工藝而定,但由于微電子技術(shù)的復雜性和影響
產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多,至今尚無一份由工藝實驗得到的完整的水質(zhì)標準。不過近年來電子級水標準也在不斷地修訂中,而且
高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展,新儀器和新分析方法的不斷應用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。
高純水的國家標準為:GB1146.1-89至GB1146.11-89【168】,目前我國高純水的標準將電子級水分為五個等級:一級、二級
、三級、四級、五級,該標準是參照ASTM電子級標準而設(shè)定的。
高純水的水質(zhì)標準中所規(guī)定的各項指標的主要依據(jù)是:1.微電子工藝對水質(zhì)的要求;2.制水工藝的水平;3.檢測技術(shù)的現(xiàn)狀。
在高純水的生產(chǎn)過程中,水中的陰、陽離子可利用電滲析方法、反滲透法、離子交換法等技術(shù)去除;水中的顆粒一般可用超
過濾、膜過濾等技術(shù)去除;水中的細菌,目前國內(nèi)多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除;水中的TOC則一般采用
活性炭、反滲透處理。在高純水的應用領(lǐng)域中,水的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性、閥值電壓,導致低擊穿,產(chǎn)生缺
陷,還影響材料的使用壽命,因此高純水要求具有相當高的純度和精度。
天然水中的溶解氣體主要有氧氣、二氧化碳、二氧化硫和少量的甲烷、氡氣、氯氣等,在高純水的生產(chǎn)過程中 ,還必須去除
這類氣體。為了有效地去除雜質(zhì),在生產(chǎn)高純水的過程中加入了一些化學藥劑,如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。
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